本實(shí)用新型涉及電子顯微鏡樣品臺冷卻技術(shù)領(lǐng)域,提供一種對置式壓縮機驅動(dòng)的掃描電子顯微鏡制冷系統。其中,制冷系統包括第一真空腔體、第二真空腔體、對置式壓縮機、制冷機及樣品臺,制冷機位于第一真空腔體內,樣品臺位于第二真空腔體內,對置式壓縮機位于第一真空腔體外并與制冷機柔性連接,制冷機的冷頭與樣品臺相連。本實(shí)用新型提供的對置式壓縮機驅動(dòng)的掃描電子顯微鏡制冷系統,對置式壓縮機帶動(dòng)制冷機制冷,制冷機產(chǎn)生的冷量傳遞至樣品臺以降低樣品臺的溫度,從而滿(mǎn)足不同樣品測量環(huán)境的溫度要求,適用性高;對置式壓縮機與制冷機分別位于第一真空腔體的外部和內部,相互分離設置,兩者之間柔性連接,減小樣品臺的振動(dòng)。
院屬單位：中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所
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