本實(shí)用新型涉及掃描電子顯微鏡樣品臺冷卻技術(shù)領(lǐng)域,提供掃描電子顯微鏡溫度調節系統,包括:加熱元件、第一真空腔體和第二真空腔體,還包括低溫冷卻裝置和樣品臺,所述低溫冷卻裝置用于為所述樣品臺提供冷量,所述加熱元件用于為所述樣品臺提供熱量,所述低溫冷卻裝置位于所述第一真空腔體的內部,所述加熱元件和所述樣品臺均位于所述第二真空腔體的內部。該掃描電子顯微鏡溫度調節系統通過(guò)低溫冷卻裝置為樣品臺提供冷量,加熱元件為樣品臺提供熱量,能夠實(shí)現樣品臺的寬溫區覆蓋和高精度控溫。
院屬單位：中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所
聯(lián)系人：陳六彪
聯(lián)系方式：13810292790
