本實(shí)用新型涉及掃描電子顯微鏡樣品臺冷卻技術(shù)領(lǐng)域,提供基于低溫固體冷卻的掃描電子顯微鏡制冷系統,包括:容器、第一真空腔體和第二真空腔體,還包括樣品臺、低溫冷頭以及液體源;所述樣品臺設置于所述容器的上方,所述低溫冷頭用于為所述容器提供冷量,所述液體源用于為所述容器提供液體,所述低溫冷頭位于所述第一真空腔體的內部,所述容器和所述樣品臺位于所述第二真空腔體的內部。該基于低溫固體冷卻的掃描電子顯微鏡制冷系統,由液體轉化的低溫固體的潛熱制冷以實(shí)現樣品臺的溫度的調控,在切斷低溫冷頭和容器之間的冷量輸送后,系統處于零振動(dòng)狀態(tài),并且樣品臺能夠長(cháng)時(shí)間維持在設定溫度,溫度波動(dòng)范圍很小。
院屬單位：中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所
聯(lián)系人：陳六彪
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