本實(shí)用新型涉及電子顯微鏡樣品臺冷卻技術(shù)領(lǐng)域,提供一種基于制冷機間歇工作的掃描電子顯微鏡制冷系統。制冷系統包括第一真空腔體、第二真空腔體、制冷機、蓄冷裝置及樣品臺,制冷機位于第一真空腔體內,樣品臺及蓄冷裝置均位于第二真空腔體內,制冷機的冷端與蓄冷裝置相連,樣品臺安裝在蓄冷裝置上。本實(shí)用新型提供的基于制冷機間歇工作的掃描電子顯微鏡制冷系統,制冷機產(chǎn)生的冷量傳遞至蓄冷裝置進(jìn)行儲存,進(jìn)而傳遞至樣品臺進(jìn)行降溫,可以使樣品臺的溫度長(cháng)時(shí)間保持恒定,避免樣品臺快速升溫,這樣制冷機可以在樣品臺上的樣品被觀(guān)測時(shí)處于關(guān)閉狀態(tài),從而在保障樣品臺在溫度符合要求的同時(shí)避免制冷機傳遞來(lái)的振動(dòng)影響樣品觀(guān)測效果。
院屬單位：中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所
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