本系統基于“微頻移傅里葉法”創(chuàng )新概念, 圍繞“稠密光柵相位無(wú)歧義展開(kāi)” 關(guān)鍵科學(xué)問(wèn)題, 解決了背景歸一化傅里葉變換輪廓法、基于質(zhì)量導向圖的相位補償策略等關(guān)鍵技術(shù), 突破了針對多目標物體的傅里葉分析法測量精度瓶頸, 實(shí)現了超高速高精度三維成像。
技術(shù)指標:
(1)測量速度: 10000 幀/秒;(2)測量精度: 80 微米;
(3)拍攝圖案數量: 6 幅;(4)測量范圍(mm×mm) :400×300;
(5)測量分辨率: 640×440;(6)適用場(chǎng)景:瞬態(tài)場(chǎng)景(≤10000Hz)。
創(chuàng )新點(diǎn):
(1)開(kāi)發(fā)微頻移傅里葉法,有效去除傳統格雷編碼或多頻時(shí)域相位展開(kāi)方 法中的條紋編碼冗余,縮減投影序列長(cháng)度 50%以上。
(2) 有機結合時(shí)域相移法中固有的數字濾波效應與光學(xué)系統散焦引入的模 擬濾波效應, 突破數字顯微鏡器件速度瓶頸, 使光柵條紋的投影速度提升兩個(gè)數量級,達 10kHz 量級。
(3)面向動(dòng)態(tài)物體三維測量誤差,以鄰域可靠性為導向動(dòng)態(tài)矯正絕對相位 分布,減少存在相位錯誤的三維點(diǎn)云,大幅提升超快三維測量的準確度。