項目簡(jiǎn)介:
本組結合非晶硅薄膜多結電池開(kāi)發(fā)出衛星定位用太陽(yáng)能電池敏感片,該器件采用多結電池進(jìn)行電流調節和阻抗調節,用薄膜光闌取代金屬光闌,并將薄膜光闌直接集成在光探測器上,實(shí)現光闌與光探測器一體化。通過(guò)優(yōu)化非晶硅薄膜制備工藝、背電極制備工藝、激光刻劃以及封裝工藝提高了薄膜傳感器材料的均勻性、減小了傳感器襯底反射、縮小了傳感器體積、重量和制備成本?,F本組已研發(fā)出具有高精度(>0.5%)、高阻抗(>120KQ/0-0.2V)、低電流密度(<1mA/cm2)、低成本(<1萬(wàn)元/個(gè)、輕量化(<100g/個(gè)的光闌器件一體化的新型光傳感器產(chǎn)品,并通過(guò)上海小衛星工程中心檢測,可用于定位空間飛行器。