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新能源

  • 6V/ 100A 勵磁電流源

    類(lèi)型:
    成熟度:
    專(zhuān)利號/型號:
    交易方式:
    簡(jiǎn)介: 本產(chǎn)品應用于半導體生產(chǎn)工藝過(guò)程的離子注入機中,用于勵磁的一款高精度可編程電源。輸出電壓量程為 0 ‐6V ,輸出電流量程為 0 ‐ 100A ,電壓電流精度均可達千分之一。根據負載可隨時(shí)切換到恒壓、恒流工作模式,并支持本地和遠程編程控制。本產(chǎn)品具有模擬量接口、人機接口,以及遠程通信管理功能等。產(chǎn)品前端具有 LED 數顯功能,可實(shí)時(shí)顯示輸出電流,電壓,設定工作電流,電流等。各種保護功能齊全,包括抗雷擊,過(guò)壓,過(guò)流以及風(fēng)扇堵轉保護等。成果實(shí)現了能耗數據可視化、達到能耗排放最優(yōu)化,并為企業(yè)能源管理部門(mén)及政府能源管理機構提供節能減排信息化服務(wù)。
  • 詳細內容

    本產(chǎn)品應用于半導體生產(chǎn)工藝過(guò)程的離子注入機中,用于勵磁的一款高精度可編程電源。輸出電壓量程為 0 ‐6V ,輸出電流量程為 0 ‐ 100A ,電壓電流精度均可達千分之一。根據負載可隨時(shí)切換到恒壓、恒流工作模式,并支持本地和遠程編程控制。本產(chǎn)品具有模擬量接口、人機接口,以及遠程通信管理功能等。產(chǎn)品前端具有 LED 數顯功能,可實(shí)時(shí)顯示輸出電流,電壓,設定工作電流,電流等。各種保護功能齊全,包括抗雷擊,過(guò)壓,過(guò)流以及風(fēng)扇堵轉保護等。成果實(shí)現了能耗數據可視化、達到能耗排放最優(yōu)化,并為企業(yè)能源管理部門(mén)及政府能源管理機構提供節能減排信息化服務(wù)。

    應用前景:

    離子注入機是集成電路制造前工序中的關(guān)鍵設備,離子注入是對半導體表面附近區域進(jìn)行摻雜的技術(shù),其目的是改變半導體的載流子濃度和導電類(lèi)型。離子注入與常規熱摻雜工藝相比可對注入劑量、注入角度、注入深度、橫向擴散等方面進(jìn)行精確的控制,克服了常規工藝的限制,提高了電路的集成度、開(kāi)啟速度、成品率和壽命,降低了成本和功耗。離子注入機廣泛用于摻雜工藝,可以滿(mǎn)足淺結、低溫和精確控制等要求,已成為集成電路制造工藝中必不可少的關(guān)鍵裝備。成果可廣泛應用于半導體生產(chǎn)用離子注入機中,有效的實(shí)現了數據的可視化。

    成熟度:小試階段

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