針對屬于耗材的BN(氮化硼)陶瓷件,提高現有國產(chǎn)化產(chǎn)品的性能。
在半導體設備中,燈絲通過(guò)5V/200A電流,溫度達到1000攝氏度左右狀態(tài)下,進(jìn)口陶瓷件使用壽命90小時(shí)左右;國產(chǎn)陶瓷件壽命為50小時(shí)左右。
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